반도체와 박막공정용 기술 시연
Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq:AEIS)가 세미콘코리아 2017에서 더욱 향상된 기술을 선보이고 있다. Advanced Energy는 반도체와 박막공정기술을 위한 모든 제품군을 진열 중이다.
Advanced Energy가 시연 중인 제품 중 멀티레벨 펄스기능을 가진 RF 전력발생기는 3D logic, VNAND 메모리 및 차세대 소자 구조 공정과 같은 다양한 반도체 공정을 가능하게 한다.
반도체 공정에 특화된 remote plasma source는 매우 중요한 플라즈마 공정에서 소자의 손상을 줄이고 처리량과 수율을 높일 수 있다. 또한 고전압 전원 장치의 모듈과 시스템은 높은 전력밀도를 제공하여 e-beam, e-chuck, ion implantation 등에 사용된다.
아울러 구리, 알루미늄, 탄탈륨, 티타늄, 그리고 신소재를 위한 반도체 및 디스플레이 제조에 이용되는 PVD공정의 DC발생기와 생산성, 수율, 처리량 증대를 위한 정밀한 열 프로파일 및 고급 공정 제어 기능이 있는 고온계, 광섬유 온도계 및 SCR 사이리스터 전원 컨트롤러를 포함하는 열처리 장치를 진열하고 있다.
Advanced Energy 유발 왓서먼(Yuval Wasserman) 대표는 “deposition과 etch 공정의 복잡성이 계속하여 증가하는 가운데 OEM 고객들께 필요한 고급기술의 기능들을 계속해서 제공하고 있다”며 “고급 RF 펄싱시에 power의 성능과 제어능력은 예측가능성, 반복성 및 맞춤성을 공급한다”고 밝혔다.
Advanced Energy는 북미, 유럽, 아시아에 걸쳐 글로벌 네트워크를 보유하고 있다. 서울에는 디자인 센터와 서비스 센터가 위치하고 있다.
또한 중국 시안에서 새로운 서비스 센터를 열고 글로벌 발자취를 늘려가고 있다. 새 오피스는 더 쉽게 제품을 접할 수 있고 서비스능력을 향상시키며 이 모든것을 그 지역에서 더 빠르고 쉽게 이루어 지도록 한다. 많은 고객들이 AE의 넉넉한 재고량, 늘어난 무상수리 기간, 단축된 수리기간에 의존할 수 있다.
세미콘코리아는 8일에서 10일까지 삼성동 코엑스 전시회관에서 열린다. Advanced Energy의 주요 제품들을 보려면 A 홀 2514부스와 회사의 이벤트 웹페이지를 방문하면 된다.